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一、測試目的
1氣流是控制潔凈度與溫濕度的最主要因素,它對噪音也有一些影響。因此風(fēng)速測量,都是放在無塵室測試的第一步。風(fēng)速測量的目的,是確認濾網(wǎng)送出的氣流滿足設(shè)計規(guī)范,其次是確認氣流的均勻度。在某些場合可能因現(xiàn)場的限制,室內(nèi)換氣量還必須用風(fēng)速乘以出口面積來換算。 1單一流向型無塵室,很多都是設(shè)計成垂直層流,因此風(fēng)速均勻度非常重要,只有均勻的垂直層流,才能有效排除微粒污染。非單一流向型無塵室,由于微??刂频挠^念是稀釋,不是立即排除,一般而言其換氣量遠比風(fēng)速重要。但是需注明是濾網(wǎng)風(fēng)速測量或是無塵室室內(nèi)風(fēng)速測量。
二、 使用儀器
無塵室里面使用的 HEPA/ULPA 濾網(wǎng),其送出氣流的速度多半都控制在 0.5m/s 以內(nèi),因此所使用的風(fēng)速計必須是低速型。濾網(wǎng)風(fēng)速測量可使用單點式風(fēng)速計如電子式壓力計配合皮氏管、熱線式風(fēng)速計。也可以使用多點式風(fēng)速計如 Shortridge Velgrid 16 點風(fēng)速計。輪葉式風(fēng)速計因使用范圍不同,通常不在無塵室內(nèi)使用。熱線式風(fēng)速計( Hot Wire )雖然高頻響應(yīng)良好,但是低速時 〈 0.5m/s 以下 〉 準確性很低,因此不很適用,一般熱反應(yīng)風(fēng)速計常用的是 Thermeister 式風(fēng)速計。轉(zhuǎn)輪式風(fēng)速計由于本身重量問題,也不適用低速。 檢驗儀器須經(jīng)校正合格,且仍在有效期限內(nèi)。
三、 測試步驟
(1) 在圖面上記錄濾網(wǎng)尺寸、數(shù)量并編號。 (2) 取樣點位于濾網(wǎng)下方 75-150mm 處。 (3) 每一個濾網(wǎng)下,若是使用單點式風(fēng)速計,則每 1 平方英尺取一點;若是使用多點式風(fēng)速計,則每 4 平方英尺取一點。 (4) 每測量點必須取 5 秒的平均。 (5) 依驗收標準分析所有風(fēng)速,計算平均值、標準差、相對標準差,并標明不合格測試點。 (6) 記錄所有原始數(shù)值,以及分析后的數(shù)值。重要的是在非單一流向型無塵室測試時,特別注意取樣時風(fēng)速計不可受到干擾,以免影響準確度。
四、數(shù)據(jù)分析
1風(fēng)速測量很簡單,但是均勻度必須由數(shù)據(jù)分析來判定。均勻度是由相對標
3.準差來代表,其計算步驟如下。 1. 平均值:2. 標準差
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